特許

J-GLOBAL ID：200903022997429221

研磨装置および研磨方法

発明者： 大村 卓史 ,  後藤 勝文
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159390
公開番号（公開出願番号）：特開平10-006210
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】研磨定盤に研磨パッドを容易に装着することができ、しかも研磨時に研磨パッドの伸びが生じてもその伸びを自動的に吸収して、ウエハに高精度の研磨を安定して施すことができる研磨装置および研磨方法を提供する。【解決手段】研磨パッドの中央部11bを保持するパッド中央保持板14(下板12、上板13)と、研磨パッドの外縁部11dを保持するパッド外縁保持板20(下板18、上板19)と、パッド中央保持板14を研磨定盤に着脱する機構(突出部13b、溝31b)と、パッド外縁保持板20の複数箇所を引っ張り、研磨パッド11を研磨定盤31の一面に被着させる被着手段(エアシリンダ25)とを備える研磨装置。この研磨装置の研磨定盤31に研磨パッド11を被着させて、ウエハSを研磨する研磨方法。

請求項（抜粋）：

研磨パッドの被着面を有する研磨定盤を備える研磨装置において、前記研磨パッドの中央を保持するパッド中央保持板と、前記研磨パッドの外縁部を保持するパッド外縁保持板と、前記パッド中央保持板を研磨定盤に着脱する機構と、前記パッド外縁保持板の複数箇所を引っ張り、前記研磨パッドに張力を作用させ前記研磨定盤に被着させる張架手段とを備えることを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-196107   出願人：住友金属工業株式会社