特許
J-GLOBAL ID:200903023002827862

誘導結合プラズマ質量分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大西 孝治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-357863
公開番号(公開出願番号):特開平5-174781
出願日: 1991年12月25日
公開日(公表日): 1993年07月13日
要約:
【要約】【目的】 試料溶液中の水の成分がトーチに到達しないようにして、鉄(Fe)の検出限界を高める。【構成】 加熱気化装置10とトーチ20との間はチューブ40により接続されている。チューブ40の途中部位には、冷却管50が設けられている。加熱気化装置10内の電気炉を冷却するための強制冷却水を冷却管50内に通して、チューブ40を外から冷却する。
請求項(抜粋):
試料溶液を加熱して気化試料を生成する加熱気化装置と、キャリアガスとしてのアルゴンガスにより送り込まれた気化試料をプラズマによりイオン化させるトーチと、イオン化された気化試料の質量スペクトルを求める質量分析計とを具備する誘導結合プラズマ質量分析装置において、加熱気化装置とトーチとの間に接続され、且つ気化試料を導くためのチューブを外から冷却するようにしてあることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件):
H01J 49/10 ,  G01N 27/62
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-082947
  • 特開昭63-218143

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