特許

J-GLOBAL ID：200903023009575150

気体中の不純物濃度の測定装置

発明者： 佐藤 晋亮
出願人/特許権者： ロジテックシステム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139773
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317561
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】 モノシラン、ジシラン等の反応性の高い特殊材料ガス中の不純物、特に水分濃度を高速で測定可能とする。【構成】 放電室11を2つの領域に分割し放電針12を有する第1の領域13に窒素、アルゴン、水素等の反応性の低いガスを供給し、対向電極14を有する第2の領域15にモノシラン、ジシラン等の反応性の高い特殊材料ガスを供給し、コロナ放電の放電電流が一定となるようにした高圧定電流電源29により高電圧が印加され放電針12と対向電極間14の電位差の変化を測定手段30によって測定し気体中の不純物濃度を測定する。

請求項（抜粋）：

コロナ放電の放電電流が一定となるようにした高圧定電流電源により印加された測定ガスが通流する放電室内の放電針と対向電極の間の電位差の変化により気体中の不純物濃度を測定する装置において、放電室を2つの領域に分割し、放電針を有する第1の領域に不純物を低減した高純度のガスを供給し、対向電極を有する第2の領域に測定対象ガスを供給することを特徴とする気体中の不純物濃度の測定装置。