特許
J-GLOBAL ID：200903023010623737
共振型光学スキャナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346240
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257075
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で広いダイナミックレンジの振幅制御が可能な共振型光学スキャナを提供する。【構成】 走査鏡1の振動系が有する固有の振動数の共振周波数で走査鏡1の駆動系をパルスドライブする共振型光学スキャナにおいて、走査鏡1の振幅を検出する振幅検出手段5〜8、検出した振幅を基準値と比較して誤差を検出し増幅する誤差増幅手段9、誤差増幅手段9より得られる誤差信号に対応する周波数信号を発生する信号発生手段10、11、及び信号発生手段10、11で発生した周波数信号により走査鏡1の駆動系をパルスドライブするドライブ手段12を備え、共振周波数近傍の共振周波数から外れた周波数帯域で走査鏡の振幅を設定する。したがって、三角波の発生手段やパルス幅変調のための比較手段等が必要でなく、電圧により発振周波数が制御できる電圧制御発振器を使った簡単な回路構成で走査鏡の振幅制御を行うことができる。
請求項（抜粋）：
走査鏡の振動系が有する固有の振動数の共振周波数で走査鏡の振動系をパルスドライブする共振型光学スキャナにおいて、走査鏡の振幅を検出する振幅検出手段、検出した振幅を基準値と比較して誤差を検出し増幅する誤差増幅手段、誤差増幅手段より得られる誤差信号に対応する周波数信号を発生する信号発生手段、及び信号発生手段で発生した周波数信号により走査鏡の振動系をパルスドライブするドライブ手段を備え、共振周波数近傍で共振周波数から外れた周波数帯域で走査鏡の振幅を設定するようにしたことを特徴とする共振型光学スキャナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 101
, G01J 1/04
, G01J 5/48
