特許

J-GLOBAL ID：200903023012291456

スラリ循環装置及びそれを用いたワイヤソー

発明者： 勝俣 昇 ,  黒田 健正 ,  芋生 裕幸
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223827
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058236
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 加工運転の進行に伴って、スラリタンク内のスラリ量が少なくなった場合でも、スラリタンク内のスラリが撹拌中に周囲へ飛散するおそれを防止することができるワイヤソーを提供する。【解決手段】 スラリ供給機構20にスラリタンク35からスラリを循環給送する。スラリタンク35内のスラリを撹拌翼42の回転により撹拌する。スラリタンク35内のスラリ量を測定器45により測定する。測定器45にて測定されたスラリ量に応じて、撹拌翼42の回転速度を設定変更する。

請求項（抜粋）：

スラリタンクから給送されたスラリをスラリ供給機構によって加工装置へ供給し、加工装置からスラリタンクへ回収したスラリを再び前記スラリ供給機構に循環給送するスラリ循環装置において、スラリタンク内のスラリを攪拌する撹拌翼と、スラリタンク内のスラリ量を測定する測定手段と、その測定手段により測定されたスラリ量に応じて撹拌翼の回転速度を制御する制御手段とを備えたスラリ循環装置。

IPC (3件)：

B24B 57/00 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304 311

FI (3件)：

B24B 57/00 ,  B24B 27/06 D ,  H01L 21/304 311 W