特許

J-GLOBAL ID：200903023016760590

Y123型結晶構造を有する酸化物結晶膜及び膜積層体

発明者： 山田 容士 ,  田上 稔 ,  中村 優 ,  堺 英樹 ,  上原 浩一 ,  塩原 融 ,  田中 昭二
出願人/特許権者： 財団法人国際超電導産業技術研究センター ,  旭硝子株式会社 ,  石川島播磨重工業株式会社 ,  三菱電線工業株式会社 ,  株式会社ジャパンエナジー ,  京セラ株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108569
公開番号（公開出願番号）：特開平6-321695
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】 結晶性の良いY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜又は結晶性の良いY123型結晶構造を有した二種以上の酸化物結晶により構成される膜積層構造体を得る。【構成】 本発明の酸化物結晶膜は、Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成された123型結晶構造を有する。本発明の酸化物結晶膜積層体は、Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成されたY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜を二層以上積層した。

請求項（抜粋）：

Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成されたY123型結晶構造を有することを特徴とする酸化物結晶膜。

IPC (3件)：

C30B 29/22 501 ,  C01G 1/00 ,  H01L 39/02 ZAA

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-310799