特許
J-GLOBAL ID：200903023019892587
照明光源、露光装置及び露光方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-065654
公開番号（公開出願番号）：特開2004-253750
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】射出光のパワーを向上させた照明光源を提供する。【解決手段】複数の単位固体光源1aと、アレイ状に配列された複数の入射光学面を有するフライアイインテグレータ1bとを備える照明光源であって、複数の単位固体光源1aを、複数の単位固体光源1aのそれぞれの基準軸がフライアイインテグレータ1bの入射面全体の略中心に位置する基準点を通るように放射状に配置し、フライアイインテグレータ1bの入射光学面の入射領域の縦及び横の寸法のうち大きいほうの寸法をa、小さい方の寸法をb、フライアイインテグレータ1bの焦点距離をf、複数の単位固体光源1aのそれぞれの基準軸とフライアイインテグレータ1bの基準点を通る軸とのなす角度のうち最も大きな角度をθmax(rad)としたとき、(1/3)・sin-1[1/{2・(f/b)}]<θmax<sin-1[1/{2・(f/(a2+b2)1/2)}]の条件を満足する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
複数の単位固体光源と、アレイ状に配列された複数の入射光学面を有するフライアイインテグレータとを備える照明光源であって、
前記複数の単位固体光源を、前記複数の単位固体光源のそれぞれの基準軸が前記フライアイインテグレータの入射面全体の略中心に位置する基準点を通るように放射状に配置し、
前記フライアイインテグレータの前記入射光学面の入射領域の縦及び横の寸法のうち大きいほうの寸法をaとし、小さい方の寸法をbとし、前記フライアイインテグレータの焦点距離をfとし、前記複数の単位固体光源のそれぞれの基準軸と前記フライアイインテグレータの前記基準点を通る軸とのなす角度のうち最も大きな角度をθmax(rad)としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする照明光源。
(1/3)・sin-1[1/{2・(f/b)}]< θmax <sin-1[1/{2・(f/(a2+b2)1/2)}]
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B27/00
, G03F7/20
H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
, H01L21/30 516D
, G02B27/00 V
5F046CA09
, 5F046CA10
, 5F046CB23
, 5F046DA02
