レーザービームスポットの特性を決定する方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-523814
公開番号（公開出願番号）：特表2003-509681
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：

【要約】【解決手段】レーザービームスポット(20)の寸法を決定する方法が,背後に配置される光電検出器(40)有する基準エッジ(30)を横切る経路で,レーザービームを走査すること,および走査中,光電検出器(40)からの出力信号を測定することを含み、その出力信号は,走査中,光電検出器(40)上に入射するレーザービームスポット(20)の面積に対応する。

請求項（抜粋）：

レーザービームの特性を決定する方法であって, 背後に配置される光電検出器を有する基準エッジを横切る経路で,レーザービームを走査する工程と, 走査中,光電検出器からの出力信号を測定する工程と,を含み, 出力信号が走査中光電検出器に入射するレーザービームの面積に対応する,ところの方法。

IPC (7件)：

G01J 1/42 , A61F 9/007 , G01B 11/00 , G01B 11/28 , G01J 1/02 , H01S 3/00 , H01S 3/101

FI (9件)：

G01J 1/42 E , G01B 11/00 D , G01B 11/28 Z , G01J 1/02 L , H01S 3/00 A , H01S 3/101 , A61F 9/00 512 , A61F 9/00 511 , A61F 9/00 510

Fターム (37件)：

2F065AA17 , 2F065AA19 , 2F065AA26 , 2F065AA58 , 2F065FF23 , 2F065GG04 , 2F065JJ09 , 2F065JJ15 , 2F065LL00 , 2F065LL13 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2G065AA11 , 2G065AB05 , 2G065AB09 , 2G065AB11 , 2G065BA01 , 2G065BA39 , 2G065BA40 , 2G065BB11 , 2G065BB14 , 2G065BB22 , 2G065BB23 , 2G065BC13 , 2G065BC15 , 2G065BC23 , 2G065BC33 , 2G065BC35 , 2G065BD03 , 2G065DA05 , 2G065DA10 , 5F072AA06 , 5F072HH02 , 5F072JJ20 , 5F072MM20 , 5F072RR05 , 5F072YY02

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭62-080618

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