光学的パターン検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263049
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083101
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光学系の軽量化を図って高精度の位置合わせを容易に行い得るようにし、検査装置全体の小型化、軽量化を実現した検査装置を提供する。【解決手段】半導体ウェハWに形成された2つのダイ(パターン)D1,D2のうち、第1のダイD1に対して第1の光源24からの波長光を照射しかつその反射光を集光する第1の対物レンズ21と、第2のダイD2に対して第1の波長光とは異なる第2の光源25からの波長光を照射しかつその反射光を集光する第2の対物レンズ22と、第1及び第2の対物レンズからの光を結像するための結像レンズ23と、第1及び第2の波長光を分離する波長選択ユニット31と、分離された第1及び第2の各波長光をそれぞれ受光する第1及び第2の光検出器32,33とを備える。第1の対物レンズ21または第2の対物レンズ22のいずれか一方を他方に対して相対移動可能とする。

請求項（抜粋）：

被検査対象となる少なくとも2つのパターンをそれぞれ光学的に検出し、検出した各パターンを対比してパターンの検査を行う光学的パターン検査装置であって、第1のパターンに対して第1の波長光を照射しかつその反射光を集光する第1の光学系と、第2のパターンに対して前記第1の波長光とは異なる第2の波長光を照射しかつその反射光を集光する第2の光学系と、前記第1及び第2の光学系で集光した各波長光を結像するための結像系と、前記第1及び第2の波長光を分離する波長選択手段と、前記波長選択手段で分離された前記第1及び第2の各波長光をそれぞれ受光する第1及び第2の光検出器とを備え、前記第1の光学系または第2の光学系のいずれか一方を他方に対して相対移動可能に構成したことを特徴とする光学的パターン検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

Fターム (22件)：

2G051AA51 , 2G051AB11 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB11 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC12 , 2G051CC15 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106DB01 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DJ04 , 4M106DJ11 , 4M106DJ17 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭61-095540
特開平3-130647
特開昭59-021024

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