特許
J-GLOBAL ID：200903023028235882
ティルトミラーの制御装置及び制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
真田 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-046744
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361920
出願日： 2004年02月23日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】 ティルトミラーの傾斜角制御を、非線形性を補償しながら高速且つ高安定に行なえるようにする。【解決手段】 ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいてティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部1,2,3と、この制御信号生成部1,2,3により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタ4と、このディジタルフィルタにより共振周波数成分を除去した制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって制御信号の非線形性を補償する平方根演算部5とをそなえるように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ティルトミラーの傾斜角を制御する制御装置であって、
該ティルトミラーの目標傾斜角を決定するパラメータに基づいて該ティルトミラーの傾斜角を該目標傾斜角にフィードフォワード制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
該制御信号生成部により生成された制御信号に現われる該ティルトミラーの角度応答の共振周波数成分を除去するディジタルフィルタと、
該ディジタルフィルタにより該共振周波数成分を除去した該制御信号について平方根演算をディジタルにより行なって該制御信号の非線形性を補償する平方根演算部とをそなえたことを特徴とする、ティルトミラーの制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/08 E
, G02B26/10 104Z
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ05
, 2H045AB10
, 2H045AB27
出願人引用 (7件)
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特開平2-241380号公報(第2頁右上欄第19行〜第3頁右上欄第4行,第5図)
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米国特許第5,277,053号明細書(第4欄第10行〜第45行,図1)
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空間光変調器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-137129
出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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審査官引用 (2件)
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微細加工を使用した光学ヘッド
公報種別：公表公報
出願番号：特願平10-511943
出願人：クインタ・コーポレイション
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特開平2-241380
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