特許
J-GLOBAL ID：200903023031298356
紫外線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251399
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097973
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 操作が簡単で微妙な照度調整を容易に行うことができる紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 楕円集光鏡1bの第1焦点位置に発光部Aにおける最大輝度の部分が位置するように放電ランプ1aが設置されている。楕円集光鏡1bの第2焦点はランプハウス出射部2’に位置し、ランプ1aの光は第2焦点に集光する。ランプハウス出射部2’には、導光ファイバ3の入射端3aの位置を光軸方向に移動させる照度調整機構20が設けられており、照度調整機構20により導光ファイバ3の入射端3aと第2焦点間との距離を調整することにより照度を調整することができる。導光ファイバ3の入射端3aの位置を移動させ照度を調整しているので、照度調整時の照度変化が緩やかとなり、また、入射端3aを上記第2焦点から遠ざけたとき照度が単調に減少し、微妙な照度調整が可能となる。
請求項（抜粋）：
紫外光を含む光を放出するショートアーク型の放電ランプと、上記放電ランプから放出される光を集光する楕円集光鏡と、上記楕円集光鏡により集光された光が入射端から入射し、該光を出射端より放出する導光ファイバから構成される紫外線照射装置において、上記楕円集光鏡の第1焦点位置に上記放電ランプの発光部における最大輝度の部分の位置が位置するように上記放電ランプが設置されており、上記導光ファイバの入射端の位置を移動させ、上記楕円集光鏡により光が集光される位置と上記入射端との距離を調整する照度調整機構を備えていることを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 502
, H01L 21/26
H01L 21/30 527
, G03F 7/20 502
, H01L 21/26 L
, H01L 21/30 577
