研磨布

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128703
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315119
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】ウエハを研磨布に押し付けた際にウエハの周縁部で生ずる変形が小さく、従って、所定の平坦度を備えた有効領域の部分の面積が広いウエハを得ることが可能な研磨布を提供することにある。【解決手段】本発明の研磨布21は、ターンテーブルの表面に装着されて、平板状の被研磨材の平坦化加工に使用される研磨布であって、その表面の少なくとも被研磨材と接触する範囲の全面及びその隣接部分に、溝23が格子状に形成されていることを特徴とする。好ましくは、格子状の溝23を、互いに隣接する溝の間隔が2mm以上、15mm以下となる様に形成する。

請求項（抜粋）：

ターンテーブルの表面に装着されて平板状の被研磨材の平坦化加工に使用される研磨布であって、その表面の少なくとも被研磨材と接触する範囲の全面及びその隣接部分に、溝が格子状に形成されていることを特徴とする研磨布。

IPC (2件)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/00 C , H01L 21/304 321 E

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