特許
J-GLOBAL ID：200903023036348351
荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
作田 康夫
, 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-249434
公開番号（公開出願番号）：特開2006-066302
出願日： 2004年08月30日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】 本発明は、電子ビーム傾斜時におけるビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。【解決手段】 傾斜用偏向器によってビームを傾斜する荷電粒子線装置において、ビームの傾斜角度調整や電子ビーム傾斜時に発生する像歪を補正するための歪調整について、例えばピラミッド形状の試料等の特定の試料を用いて実施し、傾斜前後に取得する画像を取得して画像処理を実施することで傾斜角度の値や歪量を求めるようにし、所定の処理フローに従って傾斜角度の調整や歪補正の調整を自動化する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、前記荷電粒子線を試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出器と、当該対物レンズの軸外に前記荷電粒子線を偏向させて前記荷電粒子線を前記対物レンズ光軸に対し傾斜させる傾斜用偏向器と、前記荷電粒子線を偏向して試料上の照射領域を変更する偏向器と、前記荷電粒子線の非点を補正する非点補正器と、前記荷電粒子線を傾斜したときに前記検出器によって検出された二次信号粒子に基づいて荷電粒子線の傾斜角度を測定する手段と、前記対物レンズ,非点補正器、及び偏向器を自動的に制御する制御装置とを備え、前記荷電粒子線の傾斜角度の調整を自動で実施することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/147
, H01J 37/153
H01J37/147 B
, H01J37/153 B
5C033FF03
, 5C033FF10
, 5C033JJ01
, 5C033JJ07
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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