特許
J-GLOBAL ID：200903023051896691
化学機械研磨装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184922
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058314
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 研磨される工作物を重大に損傷せずに、CMP装置のスラリーおよびすすぎ水の消費量を低減し、かつその製造コストを削減できるようにする。【解決手段】 リサイクルされたスラリーは使用中のスラリーと間断なく混合されて安定した研磨速度を達成する。研磨パッド11を横切って流れ続けるスラリーの一部は消費または廃棄される。スラリーはキャッチリング23中に回収されてリサイクルループへ送られ、回収されたスラリーと新しいスラリー、再生用化学物質、または水とが混合され、混合物はテストおよびろ過されたのち、研磨パッド11へ戻される。パッド11へ戻される容量は回収された容量をわずかに上回るため、キャッチリング23を溢れさせる。すすぎ水も同様にリサイクルされ、研磨パッド11を研磨サイクル間に濡れた状態に保つ。
請求項（抜粋）：
研磨パッドを含む化学機械研磨(CMP)装置において、前記研磨パッドを少なくとも部分的に取り囲み、使用済みスラリーが前記研磨パッドから流れ出ると前記使用済みスラリーを受けて収容するキャッチリングと、前記キャッチリングから前記使用済みスラリーの一部をその第1の端部を介して回収する第1の管と、前記第1の管に接続された第1入力と、新しいスラリー源に接続する第2入力とを備え、前記第1および第2入力へ供給される流体を混合して、リサイクルされたスラリーを生成する混合マニホールドと、前記混合マニホールドの出力に接続されて、前記リサイクルされたスラリーを前記研磨パッドへ戻す第2の管と、を含む装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 Z
, B24B 57/00
