フッ素系排ガス分解処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西藤征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-280581
公開番号（公開出願番号）：特開2002-085939
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】【課題】常圧付近で安定した状態で安全に放電処理することのできるフッ素系排ガス分解処理方法を提供する。【解決手段】フッ素系ガスを含有する排ガスを不活性ガスにより希釈して圧力13.3〜133kPaの混合ガスとしたのち、上記混合ガスを、珪素を含有する固体誘電体材料で形成された放電用リアクター1内に導入し、その外側に対設される電極10,11間に高周波電圧を印加して上記放電用リアクター1内でプラズマ放電を生起させることによりフッ素系ガスを放電分解し、生じた活性フッ素を、容器に含有される珪素と反応させ、ガス状のフッ化珪素化合物としたのち、処理済ガスを放電用リアクター1の外に取り出して上記フッ化珪素化合物を吸着処理するようにした。

請求項（抜粋）：

フッ素系ガスを含有する排ガスを処理する方法であって、上記フッ素系ガスを含有する排ガスを不活性ガスにより希釈して圧力13.3〜133kPaの混合ガスとしたのち、上記混合ガスを、珪素を含有する固体誘電体材料で形成された電気絶縁性容器内に導入し、上記容器外側に対設される複数の電極間に高周波電圧を印加して上記容器内でプラズマ放電を生起させることによりフッ素系ガスを放電分解し、生じた活性フッ素を、容器に含有される珪素と反応させ、ガス状のフッ化珪素化合物としたのち、処理済ガスを容器外に取り出して上記フッ化珪素化合物を吸着処理するようにしたことを特徴とするフッ素系排ガス分解処理方法。

IPC (3件)：

B01D 53/68 , B01D 53/34 ZAB , B01J 19/08

FI (3件)：

B01J 19/08 E , B01D 53/34 134 C , B01D 53/34 ZAB

Fターム (33件)：

4D002AA22 , 4D002AC10 , 4D002BA02 , 4D002BA07 , 4D002CA13 , 4D002DA70 , 4D002EA02 , 4D002GA01 , 4D002GA02 , 4D002GB01 , 4D002GB02 , 4D002GB04 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075BB01 , 4G075BB04 , 4G075BD14 , 4G075CA15 , 4G075CA47 , 4G075CA62 , 4G075DA01 , 4G075DA02 , 4G075EA01 , 4G075EA06 , 4G075EB01 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075EE12 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FC15

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