レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315291
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156572
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザによる微細穴明け加工に用いるメタルマスクに関し、エキシマレーザを照射することでメタルマスクに生じる誘因加熱によるメタルマスクの破損を防止することが、正確な微細穴明け加工を行ううえで、解決すべき課題となっていた。【解決手段】パターン開口部19b、19dの径がそれぞれ異なりかつ熱伝導率の異なる金属板19a、19cを直接または断熱スペーサ19eを介して貼り合わせ、該金属板表面に空冷用放熱フィン19fおよび水冷用金属チューブ19gのいずれか一方または両方を設けることで、レーザ熱によりメタルマスク19が損傷することを防止するものである。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器、このレーザ発振器から発射されて被加工物に照射されるレーザビームの通過経路に配置され、レーザビームの通過開口部を有する、熱伝導率の異なる少なくとも2枚の金属板によって構成されたメタルマスクを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/06 , B23K 26/00 330 , H05K 3/00

FI (3件)：

B23K 26/06 J , B23K 26/00 330 , H05K 3/00 N

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