特許

J-GLOBAL ID：200903023063506139

反射防止膜

発明者： 網干 順治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050554
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248903
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【目的】 波長160nm〜300nmの波長範囲内の特定波長において、広い光線入射角度において反射防止効果を奏し、(入射角度特性が良好)、かつ光線の入射角度変化に対する偏光反射率の変動の小さな(偏光成分の分離が小さい)反射防止膜を提供する。【解決手段】少なくとも、波長160〜300nmの波長範囲内の任意の設計基準波長λ0に対し前記波長の光を透過する基板上に、基板側から光学的膜厚が約0.525λ〜0.575λの低屈折率層、光学的膜厚が0.2625λ〜0.2875λの高屈折率層、光学的膜厚が0.2625λ〜0.2875λの低屈折率層を順次積層してなる反射防止膜。

請求項（抜粋）：

少なくとも、波長160〜300nmの波長範囲内の任意の設計基準波長λ0に対し前記波長の光を透過する基板上に、基板側から光学的膜厚が約0.525λ〜0.575λの低屈折率層、光学的膜厚が0.2625λ〜0.2875λの高屈折率層、光学的膜厚が0.2625λ〜0.2875λの低屈折率層を順次積層してなる反射防止膜。