特許

J-GLOBAL ID：200903023063572409

試料表面の高さ検出方法及びその装置

発明者： 押田 良忠 ,  田中 稔 ,  谷本 哲三
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150922
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006714
出願日： 1989年04月21日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】試料表面の高さを試料の構造や光特性に関係なく、正確に測定することができるようにする。【解決手段】試料の表面に、比較的指向性の高い光を、その主光線の入射角が85°以上になるように斜めより照射する構成とした。入射角度が85°以上になると入射光の振幅に対する反射光の振幅の比は小さくなり、ほとんどの光が表面で反射し、内部への入射は僅かになるので、被測定物体の表面の情報を正確に得ることができる。更に、照射する光がS偏光のときには、入射角を82°以上にすればよい。

請求項（抜粋）：

試料の表面に該表面の法線方向に対して85度以上の入射角度で光を照射し、該光が照射された個所の前記試料表面の像を検出器上に結像させ、該結像させた前記試料表面の像を前記検出器で検出し、該検出した前記試料表面の像に基づいて前記試料表面の高さを検出することを特徴とする試料表面の高さ検出方法。

IPC (5件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/26 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/02 G ,  G01B 11/26 Z ,  G01B 11/26 G ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/66 P