特許
J-GLOBAL ID：200903023071172320
表面伝導型電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179800
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012140
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 導電性膜に良好な電子放出部を形成できなかった。【解決手段】 素子電極2,3間に形成した導電性膜4の粒径を検査して、その検査結果に基づいて、フォーミング処理のパルス幅を変更する。
請求項（抜粋）：
基板上に素子電極を形成すると共に素子電極間を連絡する導電性膜を形成する工程と、導電性膜の粒径を検査する粒径検査工程と、導電性膜に電子放出部を形成するフォーミング工程とを有し、粒径検査結果に応じて、フォーミング工程のフォーミング処理のパルス幅を変更することを特徴とする表面伝導型電子放出素子の製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 B
, H01J 31/12 C
