特許
J-GLOBAL ID：200903023079640790
超音波洗浄方式及び超音波洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106144
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】平板状被洗浄物をコンベアで水平移動させながらその上面を超音波洗浄する洗浄工程において、工程途中で平板状被洗浄物の反対面を洗浄するために被洗浄物を反転させることによる再汚染や装置の複雑化を排除し、洗浄工程の短縮能率化を図る。【構成】コンベア1の下側に、超音波を重畳させた洗浄液を上方に噴流して被洗浄物9の下面を洗浄する上方噴流形洗浄装置4を配置し、コンベア1の上側に、超音波を重畳させた洗浄液を噴射して被洗浄物10の上面を洗浄する下方噴射形洗浄装置2を配置する。コンベア1を水平移動することにより被洗浄物の両面が洗浄される。
請求項（抜粋）：
板状被洗浄物を搬送具に載置して水平に移送する搬送装置と、超音波振動が重畳された洗浄液を上方に噴流する上方噴流形超音波洗浄装置と、超音波振動が重畳された洗浄液を下方に噴射する下方噴射形超音波洗浄装置とを備え、前記搬送具の下側に前記上方噴流形超音波洗浄装置を、上側に前記下方噴射形超音波洗浄装置を前記搬送具の移送方向に互いに位置をずらせて配置し、前記板状被洗浄物を移送しながら前記上方噴流形超音波洗浄装置によって前記板状被洗浄物の下面を洗浄し、前記下方噴射形超音波洗浄装置によって前記板状被洗浄物の上面を洗浄することにより前記板状被洗浄物の両面を洗浄するようにした超音波洗浄方式。
IPC (2件)：
B08B 3/12
, H01L 21/304 341
