特許
J-GLOBAL ID：200903023094618920

チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体の製造方法、チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体及びチタン酸ジルコン酸鉛系スパッタリングターゲット

発明者：
橋口 正一

橋口 正一 について

, 
金 豊

金 豊 について

, 
三ヶ島 隆則

三ヶ島 隆則 について


出願人/特許権者：
アルバックマテリアル株式会社

アルバックマテリアル株式会社 について


代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-336437
公開番号（公開出願番号）：特開2009-155171
出願日： 2007年12月27日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】結晶相が均一で、高密度なPbO含有量の多いチタン酸ジルコン酸鉛系焼結体の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係るチタン酸ジルコン酸鉛系焼結体の製造方法は、化学量論組成で混合したチタン酸ジルコン酸鉛の原料粉末を900°C以上1200°C以下の温度で焼結した予備焼結体を作製し、前記予備焼結体を粉砕し、前記粉砕した予備焼結体の粉末に鉛酸化物粉末を添加して鉛過剰の混合粉末を作製し、前記鉛過剰の混合粉末を前記予備焼結体の焼結温度よりも低い温度で焼結する。焼結工程を二段階に分けることにより、PbZrO3、PbTiO3、ZrO2、TiO2、PbOその他の中間化合物が存在しない化学量論組成のPZTと過剰分のPbOの2種の結晶相のみからなる高密度(例えば95%以上)のPZT焼結体を得ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
化学量論組成になるようにPbO、ZrO2、TiO2を混合したチタン酸ジルコン酸鉛の原料粉末を900°C以上1200°C以下の温度で焼結した予備焼結体を作製し、 前記予備焼結体を粉砕し、 前記粉砕した予備焼結体の粉末にPbO粉末を添加して鉛過剰の混合粉末を作製し、 前記鉛過剰の混合粉末を前記予備焼結体の焼結温度よりも低い温度で焼結する チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体の製造方法。
IPC (4件)：
C04B 35/49 ,  C23C 14/34 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24
FI (4件)：
C04B35/49 A ,  C23C14/34 A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 A
Fターム (17件)：
4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA09 ,  4G031BA10 ,  4G031CA01 ,  4G031GA01 ,  4G031GA02 ,  4G031GA03 ,  4G031GA06 ,  4G031GA09 ,  4G031GA11 ,  4G031GA14 ,  4K029BA50 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM