特許
J-GLOBAL ID：200903023098721490
アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-249089
公開番号（公開出願番号）：特開2009-081262
出願日： 2007年09月26日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：
【課題】圧電素子を繰り返し駆動しても圧電素子の変位量の低下を防止することができるアクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基板上に設けられる下電極膜、圧電体層及び上電極膜からなる圧電素子を有すると共に、圧電体層上に形成され圧電体層に引張り応力を付与する上電極を含む引張り膜を有し、下電極膜及び上電極膜間に印加する電圧を抗電界よりも高い最低電圧から最高電圧の範囲で変化させることで圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子の繰り返し駆動に伴う圧電素子の電圧対変位特性曲線のシフト量を予め推定しておき、このシフト量に応じて決定した応力となるように引張り膜を形成する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基板上に設けられる下電極膜、圧電体層及び上電極膜からなる圧電素子を有すると共に、前記圧電体層上に形成され当該圧電体層に引張り応力を付与する前記上電極膜を含む引張り膜を有し、前記下電極膜及び前記上電極膜間に印加する電圧を抗電界よりも高い最低電圧から最高電圧の範囲で変化させることで前記圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記圧電素子の繰り返し駆動に伴う当該圧電素子の電圧対変位特性曲線のシフト量を予め推定しておき、このシフト量に応じて決定した応力となるように前記引張り膜を形成することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22
, B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG44
, 2C057AG85
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP14
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
