特許

J-GLOBAL ID：200903023100493280

投影光学系

発明者： 末永 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295556
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121934
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】狭帯化をあまり進めないレーザー光源を用いた場合でも、設計性能を維持した上で、十分な色収差補正が行われた投影光学系を提供する。【解決手段】第1面Rの像を第2面W上に投影する投影光学系において、投影光学系は、石英硝子または蛍石で構成されており、少なくとも2枚の正レンズを有する正屈折力の第1レンズ群G1と、少なくとも3枚の負レンズを有する負屈折力の第2レンズ群G2と、少なくとも3枚の正レンズを有する正屈折力の第3レンズ群G3と、少なくとも3枚の負レンズを有する負屈折力の第4レンズ群G4と、少なくとも4枚の正レンズを有する部分群と1枚の負レンズとを有する正屈折力の第5レンズ群G5と、少なくとも1枚の正レンズを有する第6レンズ群G6と、を含み、第4レンズ群G4中に少なくとも1面以上の非球面を有し、第5レンズ群G5または第6レンズ群G6中に、蛍石からなる第1の正レンズLP1を有し、所定の条件を満足する。

請求項（抜粋）：

第1面の像を第2面上に投影する投影光学系において、該投影光学系は、石英硝子または蛍石で構成されており、少なくとも2枚の正レンズを有する正屈折力の第1レンズ群と、少なくとも3枚の負レンズを有する負屈折力の第2レンズ群と、少なくとも3枚の正レンズを有する正屈折力の第3レンズ群と、少なくとも3枚の負レンズを有する負屈折力の第4レンズ群と、少なくとも4枚の正レンズを有する部分群と1枚の負レンズとを有する正屈折力の第5レンズ群と、少なくとも1枚の正レンズを有する第6レンズ群と、を含み、前記第4レンズ群中に少なくとも1面以上の非球面を有し、前記第5レンズ群または前記第6レンズ群中に、蛍石からなる第1の正レンズを有し、前記第1面から前記第2面までの距離をLとし、前記第1レンズ群の焦点距離をf1とし、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とし、前記第3レンズ群の焦点距離をf3とし、前記第4レンズ群の焦点距離をf4とし、前記第5レンズ群中の4枚の正レンズを含む部分群G5pの焦点距離をf5pとし、前記第5レンズ群または前記第6レンズ群中の蛍石からなる前記第1の正レンズの焦点距離をfp1としたとき、以下の条件を満たすことを特徴とする投影光学系。0.08 < f1/L<0.250.03 <-f2/L<0.1 0.05 < f3/L<0.3 0.035<-f4/L<0.110.08 <f5p/L<0.3 0.1 <fp1/L<0.4

IPC (3件)：

G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (29件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087NA14 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA19 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  9A001BZ05 ,  9A001KK54