特許
J-GLOBAL ID：200903023101635096
圧力変動防止装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066167
公開番号（公開出願番号）：特開2000-259253
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】半導体製造工程における研磨用スラリを供給するためのスラリ循環回路に適した圧力変動防止装置に関し、スラリの滞留を生じない圧力変動防止装置を提供する。【解決手段】可撓性のチューブを作動部材と弾圧機構によって押圧変形し、断面積を縮小してスラリを流量制御可能状態で循環させる。スラリ循環回路中の圧力が上昇するとそれによる該可撓性チューブの内圧上昇に応じて該可撓性チューブを復元拡張させスラリの流通量を増す。可撓性のチューブは直線的な流通管路であるため圧力変動防止装置内でスラリの滞留を生ずることがない。
請求項（抜粋）：
可撓性のチューブと、該可撓性チューブを押圧変形させる作動部材と、該作動部材を弾圧する弾圧機構を有することを特徴とする圧力変動防止装置。
Fターム (7件)：
5H307AA20
, 5H307BB14
, 5H307DD13
, 5H307DD18
, 5H307EE02
, 5H307EE08
, 5H307EE18
