特許
J-GLOBAL ID:200903023102682500
半導体装置及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-066289
公開番号(公開出願番号):特開平7-283385
出願日: 1994年04月04日
公開日(公表日): 1995年10月27日
要約:
【要約】【目的】 例えば増幅型固体撮像素子等の半導体装置において、その微細構造における第1の導電層(例えば画素電極)と配線層となる第2の導電層との接続を可能にする。【構成】 第1の導電層46の上面に異種膜55を形成し、第2の導電層53を第1の導電層46の側面46aで電気的に接続して構成する。
請求項(抜粋):
第1の導電層の上面に異種膜が形成され、第2の導電層が上記第1の導電層の側面で電気的に接続されて成ることを特徴とする半導体装置。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平4-359543
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特開昭64-041243
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特開昭64-011349
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特開平2-031418
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特開平1-270263
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