特許
J-GLOBAL ID:200903023108899684

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 巖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-074841
公開番号(公開出願番号):特開平5-283714
出願日: 1992年03月31日
公開日(公表日): 1993年10月29日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】商品名パイレックスガラスの台座2の端面と導圧管3の端面とをはんだ付けする際に亀裂がガラスに入らないようにする。【構成】台座2のはんだ付けされる端面の周縁部8に面取りあるいはRを付けることにより傾斜面を設けることにより、はんだ付け後の冷却時のはんだの収縮による応力の局部的集中を防ぎ、台座2のガラスに亀裂が入ることがない。
請求項(抜粋):
半導体よりなる感圧素体が、ガラスよりなり貫通孔を有する台座の一側に結合され、その台座の他側の金属層を被着した端面が台座の材料と熱膨脹係数の近似した材料よりなる導圧管の端面に、台座の貫通孔と導圧管の内孔が連通するようにろう付けされたものにおいて、台座の金属層の被着する面の周縁部に傾斜面が形成されたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件):
H01L 29/84 ,  G01L 9/04

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