特許

J-GLOBAL ID：200903023119412221

樹脂薄膜の製造方法

発明者： 樫田 周 ,  久保田 芳宏 ,  永田 愛彦 ,  野口 仁
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198478
公開番号（公開出願番号）：特開平5-016159
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はリソグラフイ-用マスクのペリクル、各種ガス分離膜、光学機器窓材などとして有用とされる樹脂薄膜を生産性高く製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による樹脂薄膜の製造方法は、1)膜形成能を有する樹脂溶解液をロ-ルコ-タ-により基材に塗布する第1工程、2)塗布した樹脂溶解層の溶媒を蒸発除去する第2工程、3)溶媒を除去して得た樹脂薄膜を基材より剥離する第3工程、とよりなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

1)膜形成能を有する樹脂溶解液をロ-ルコ-タ-により基材に塗布する第1工程、2)塗布した樹脂溶解層の溶媒を蒸発除去する第2工程、3)溶媒を除去して得た樹脂薄膜を基材より剥離する第3工程、とよりなることを特徴とする樹脂薄膜の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-041329
  
• 特開昭63-021115
  
• 特開昭55-137924
  
• 特開昭60-035733