特許

J-GLOBAL ID：200903023124492683

合成樹脂製光学部品の多層反射防止膜

発明者： 三田村 宣明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237413
公開番号（公開出願番号）：特開平5-053001
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】[目的] 合成樹脂基板との密着性が高く、分光特性の安定した多層反射防止膜を提供する。[構成] 合成樹脂基板側の第一層が2元蒸着により形成されたCeO2 とSiO2 との混合膜、第二層がCeO2 膜,ZrO2 膜,TiO2 膜,Ta2 O5 膜,ZrO2 とTiO2 との混合膜またはZrO2 とTa2 O5 の混合膜のいずれかの膜、第三層がSiO2 膜とし、第一層で合成樹脂基板との密着性を高め、第二層,第三層で安定した分光特性を付与する。

請求項（抜粋）：

合成樹脂基板側の第一層が2元蒸着により形成されたCeO2 とSiO2 との混合膜、第二層がCeO2 膜,ZrO2 膜,TiO2 膜,Ta2 O5 膜,ZrO2 とTiO2 との混合膜またはZrO2 とTa2 O5 との混合膜のいずれかの膜、第三層がSiO2 膜であることを特徴とする合成樹脂製光学部品の多層反射防止膜。