特許
J-GLOBAL ID：200903023134267238
複合型薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050494
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251227
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 磁気抵抗素子に接続された導電層を厚くして抵抗を下げ、その出力信号をノイズに影響されずに正確に検出でき、導電層とシールド層との間の絶縁特性も良好とした複合型薄膜磁気ヘッドおよびそれを高い歩留まりで製造する方法を提供する。【解決手段】 基体21、22の表面に凹部を形成し、この凹部内に下部シールド層25、厚い絶縁層26、磁気抵抗素子に対する一対の厚い導電層27aおよび27b、厚い絶縁層28を形成する。その後、凹部に隣接する基体部分にシールドギャップ層29および32によって埋設された状態で磁気抵抗素子30を形成し、この磁気抵抗素子の両端を膜厚の薄い一対の引き出し電極31aおよび31bを介して導電層27aおよび27bにそれぞれ接続する。表面を平坦とした後、誘導型薄膜磁気ヘッドの下部ポール33、ライトギャップ層34、薄膜コイル37、39、上部ポール41を形成する。
請求項（抜粋）：
読み取り用の磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドと、書き込み用の誘導型薄膜磁気ヘッドとを積層した状態で基体により支持した複合型薄膜磁気ヘッドであって、一方の面に凹部を有する基体と、少なくとも、この基体の面に沿って、エアベアリング面を構成する端面から前記凹部の端縁近傍まで延在する第1の磁性層を有する第1の磁性部材と、この第1の磁性部材の前記第1の磁性層の、前記基体とは反対側の面に、絶縁性および非磁性のシールドギャップ層中に埋設されるように配設された磁気抵抗層と、前記凹部の内面に沿って絶縁分離された状態で延在し、前記磁気抵抗層の両端にそれぞれ電気的に接続された第1および第2の導電層と、前記シールドギャップ層の、前記基体とは反対側の面に沿って延在する第1の部分を有するとともに前記凹部の内部または上方を延在する第2の部分を有する第2の磁性部材と、この第2の磁性部材の少なくとも前記第1の部分の、基体とは反対側の面に形成されたライトギャップ層と、このライトギャップ層の、基体とは反対側の面に形成された磁極部分を有するとともにエアベアリング面から遠い部分において前記第2の磁性部材の第2の部分と磁気的に結合される部分を有する第3の磁性部材と、前記第2の磁性部材と第3の磁性部材とで挟まれる部分を有し、前記基体の表面に垂直な方向から見て前記凹部と重なるように形成された薄膜コイルと、を具えることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
5D033BB02
, 5D033BB43
, 5D033CA02
, 5D033CA05
, 5D033DA01
, 5D033DA04
, 5D033DA08
, 5D034BA09
, 5D034BA15
, 5D034BB08
, 5D034BB12
, 5D034CA04
, 5D034DA07
