特許
J-GLOBAL ID:200903023143389915

半導体加速度センサの故障診断回路

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-208266
公開番号(公開出願番号):特開平7-043381
出願日: 1993年07月31日
公開日(公表日): 1995年02月14日
要約:
【要約】【目的】 診断信号発生手段により平衡が崩されたブリッジ及び前記故障診断用抵抗から成る回路の出力信号を基にして抵抗素子の異常及び故障しやすい個所の異常を確実に判断することができる半導体加速度センサの故障診断回路を提供する。【構成】 半導体加速度センサSは、支持部と、錘部と、この錘部を支持部に接続する梁部とを一体的に具備する。梁部に形成され平衡状態に調製されたブリッジを構成する抵抗素子5を有する。故障しやすい個所に形成され抵抗素子5に接続された故障診断用抵抗6を有する。ブリッジの平衡を崩す診断信号発生手段8を有する。
請求項(抜粋):
支持部と、錘部と、この錘部を前記支持部に接続する梁部とを一体的に具備し、前記梁部に形成され平衡状態に調製されたブリッジを構成する抵抗素子を有する半導体加速度センサにおいて、故障しやすい個所に形成され前記抵抗素子に接続された故障診断用抵抗と、前記ブリッジの平衡を崩す診断信号発生手段と、から構成されることを特徴とする半導体加速度センサの故障診断回路。
IPC (2件):
G01P 21/00 ,  G01P 15/12

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