特許
J-GLOBAL ID：200903023145900200
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-029549
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220748
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【構成】 例えば、下記式【化1】で表わされるフェノール化合物、アルカリ可溶性樹脂および1,2-キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、高感度でパターン形状に優れるレジストパターンを与える。そのため本感放射線性樹脂組成物は高集積度の集積回路作製用レジストとして好適に使用できる。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)〜(5)【化1】(式(1)〜(5)中、R1およびR2は、相互に同一または異なり、水素原子、置換あるいは非置換のアルキル基、置換あるいは非置換のアルコキシル基または水酸基を示す)で示される化合物群から選択される少なくとも1種のフェノール化合物、(B)アルカリ可溶性樹脂、および(C)1,2-キノンジアジド化合物、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/022
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/022
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
