特許
J-GLOBAL ID：200903023151722135

光学素子、レンズ系、及び投影露光装置

発明者：
津田 剛志

津田 剛志 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 福田 充広 ,  藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-305387
公開番号（公開出願番号）：特開2005-077533
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【目的】 紫外用液浸光学系の光学性能の劣化を抑制させること。【構成】 反射防止膜45は、液体71に接しており、液体71に対して耐食性を有する必要がある。さらに、バルク材43も、反射防止膜45が例えばポーラスで液体71に対して浸透性を有する場合、液体71に対して耐食性を有する必要がある。そこで、バルク材43や反射防止膜45を旧来の材料であるCaF2結晶等とせず、例えば弗化ランタンからなるバルク材43上に弗化マグネシウムからなる反射防止膜45を堆積する。これにより、液体71に接触する光学素子41すなわち反射防止膜45やバルク材43が侵食されにくくなり、レンズ系LSの光学性能を良好に維持することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの光学面が水を含む所定の浸液に接触した状態で使用される光透過型の光学素子を備える液浸型のレンズ系であって、 前記光学素子は、CaF2結晶材料よりも水に対する溶解度が小さい光透過材料を含んで形成されていることを特徴とするレンズ系。
IPC (6件)：
G02B13/24 ,  G02B1/11 ,  G02B7/02 ,  G02B13/14 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (7件)：
G02B13/24 ,  G02B7/02 D ,  G02B7/02 E ,  G02B13/14 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  G02B1/10 A
Fターム (17件)：
2H044AD01 ,  2H044AE10 ,  2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA00 ,  2H087NA04 ,  2H087UA02 ,  2H087UA04 ,  2K009AA04 ,  2K009BB04 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009EE00 ,  5F046BA03 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (6件)
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