特許
J-GLOBAL ID：200903023152266672
プローブカード検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333051
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166893
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 プローブカード測定針の高さや接触抵抗の測定及び針先座標パターンの観察を迅速正確に行い、さらに測定針先の研磨を容易にできるプローブカード検査装置を提供する。【構成】 検査装置基台30に上下可動に昇降ユニット31を支持し、これに複合検査基板32を固定する。この複合基板は昇降ユニット内で摺動自在な導体の電極平板32aと透明硝子平板32bと針先研磨平板32cが同一平面に並設され、検査位置200に対して何れかの平板を対向配置させ得る。プローブカード36はカードホルダにより複合検査基板32の上方に位置決めされ、このカード測定針37と電極平板32aは試験器に接続される。昇降ユニットに光顕38とCCDカメラからなる針先観察装置が二次元移動自在に設けられ、透明硝子平板を通して測定針先を画像認識する。また針先研磨平板32cを測定針に数回押し当てるだけで、容易に針先研磨が可能である。
請求項（抜粋）：
基台に上下動可能に支持された昇降ユニットと、前記昇降ユニット上面にスライド自在に載置され、導体から成る電極平板と透明ガラス平板と針先研磨平板とが同一平面で並設された複合検査基板と、プローブカードが着脱自在に装着され、プローブカードの測定針を前記複合検査基板に臨ませるプローブカードホルダと、前記プローブカードの測定針及び前記電極平板と電気的に接続され、測定針と電極平板間の接触抵抗を測定するテスタと、前記昇降ユニットに水平方向に移動自在に設けられ、前記透明ガラス平板を通してプローブカードの測定針を観察する針先観察装置と、を含み、検査位置に位置決めされたプローブカードに対して電極平板を対向させて測定針の高さばらつき及び接触抵抗を測定し、またプローブカードに対して透明ガラス平板を対向させて測定針先座標を測定し、更にプローブカードの測定針に対して針先研磨平板を押し当てることで測定針を研磨することを特徴としたプローブカード検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/00
, G01R 31/26
