インクジェットヘッドの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏谷昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225378
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081071
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】インクジェットヘッドの製造方法に関し、ペースト状材料の印刷焼成により形成される圧電素子の形状を立方体状にすることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【構成】圧力室22を覆う振動板21a上に下部電極26を形成した後、該下部電極26上に凹凸パターン27を形成し、該凹凸パターン27の凹部27aに圧電素子ペーストを充填し焼成することにより圧電素子28を形成することを特徴とする構成とする。

請求項（抜粋）：

インクの供給を受ける圧力室(22),該圧力室(22)に連通するノズル(25),及び該圧力室(22)に接する振動板(21a)を備え、該振動板(21a)上に、下部電極(26),上部電極(29)が接続する圧電素子(28)が形成されたインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板(21a)上に前記下部電極(26)を形成した後、該下部電極(26)上に凹凸パターン(27)を形成し、該凹凸パターン(27)の凹部(27a)に圧電素子ペーストを充填し焼成することにより圧電素子(28)を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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