特許

J-GLOBAL ID：200903023167239540

セラミックス基板およびその製造方法

発明者： 山出 善章 ,  守屋 要一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259884
公開番号（公開出願番号）：特開平7-118035
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【構成】 ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、前記ガラスとしてMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)を、前記結晶としてコージェライトをそれぞれ主に含有し、さらに石英ガラス及び/又は石英結晶を含有しているセラミックス基板。【効果】 ガラスの軟化温度が720°C以下になり、850〜1000°Cの焼成温度でも気孔率を減少させてち密化することができ、熱膨張係数がシリコンに近く、比誘電率が小さく、機械的強度、耐湿性、耐水性等にも優れたセラミック基板を提供することができる。

請求項（抜粋）：

ガラスと結晶とからなるセラミックス基板において、前記ガラスとしてMgO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 -R2 O系ガラス(Rはアルカリ金属を示す)を、前記結晶として2MgO・2Al2 O3 ・5SiO2 をそれぞれ主に含有し、さらにSiO2 ガラス及び/又はSiO2 結晶を含有していることを特徴とするセラミックス基板。

IPC (3件)：

C03C 10/08 ,  C03C 10/04 ,  H05K 1/03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-051346
  
• 特開平4-050141
  
• 特開平1-093436
  
• 特開平2-225339