特許

J-GLOBAL ID：200903023171741373

投影光学系およびそれを備えた露光装置ならびに半導体デバイス製造方法

発明者： 石山 敏朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238036
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056218
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】広い露光範囲を有しつつ大きな開口数を持ち、しかもレンズ径が小さい投影光学系、及び気圧変化に対する収差変動の小さい投影光学系を提供する。【解決手段】第1面Rの像を第2面W上に形成する投影光学系において、第1面R側から順に、正のパワーを有する第1レンズ群G<SB>1</SB>、負のパワーを有する第2レンズ群G<SB>2</SB>、正のパワーを有する第3レンズ群G<SB>3</SB>、負のパワーを有する第4レンズ群G<SB>4</SB>、及び正のパワーを有する第5レンズ群G<SB>5</SB>より構成され、第2面W側の最大開口数をNAとするとき、NA>0.5の関係を満足し、さらに、α≡Eφ/[Hi+0.025×TT×tan(sin<SP>-1</SP>(NA))]、Eφ:投影光学系を構成する各レンズの最大有効径、Hi:第2面W上の最大像高、TT:第1面Rから第2面Wまでの距離とするとき、5.7<α<6.0なる条件を満足する。

請求項（抜粋）：

第1面の像を第2面上に形成する投影光学系において、前記第1面側から順に、正のパワーを有する第1レンズ群、負のパワーを有する第2レンズ群、正のパワーを有する第3レンズ群、負のパワーを有する第4レンズ群、及び正のパワーを有する第5レンズ群より構成され、前記第2面側の最大開口数をNAとするとき、NA>0.5の関係を満足し、さらに、α≡Eφ/[Hi+0.025×TT×tan(sin<SP>-1</SP>(NA))]Eφ:投影光学系を構成する各レンズの最大有効径Hi:前記第2面上の最大像高TT:前記第1面から第2面までの距離とするとき、5.7<α<6.0 ....(1)なる条件を満足することを特徴とする投影光学系。

IPC (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (22件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA02 ,  2H087QA17 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087RA32 ,  2H087UA03 ,  5F046AA05 ,  5F046AA07 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12