特許

J-GLOBAL ID：200903023171988549

反射防止膜とその製造方法

発明者： 増井 典十郎
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-045332
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242102
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】CRTやLCD等のディスプレイの表面の反射防止膜を、できるだけ簡便、かつ、高い生産性で形成する。【解決手段】高屈折率膜と低屈折率膜とを順次複数回積層して形成される反射防止膜1において、高屈折率膜41が窒化珪素膜であり、低屈折率膜42が酸化珪素膜であり、窒化珪素膜及び酸化珪素膜が、共に珪素をターゲット材料とし、窒素ガス及び酸素ガスをそれぞれ反応性ガスとして用いた反応性スパッタリングにより形成される。

請求項（抜粋）：

高屈折率膜と低屈折率膜とを順次複数回積層して形成される反射防止膜において、高屈折率膜が窒化珪素膜であり、かつ、低屈折率膜が酸化珪素膜であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (7件)：

G02B 1/11 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02B 1/10 ,  H01J 9/20 ,  H01J 29/88

FI (9件)：

G02B 1/10 A ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/06 R ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/34 M ,  C23C 14/34 A ,  H01J 9/20 A ,  H01J 29/88 ,  G02B 1/10 Z