特許
J-GLOBAL ID：200903023176504574
デバイス製造装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-330952
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167563
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 デバイス製造装置の操作者に、処理内容に従った適切な編集パラメータをエディタに表示し、迅速にパラメータ編集できるようにする。【構成】 デバイス製造装置1の動作を制御する制御パラメータをコンソール2より設定する際、該デバイス製造装置の全制御パラメータのうち適切な制御パラメータのみを表示、編集および保存できるようにした。
請求項（抜粋）：
予め設定された制御パラメータに応じて動作するデバイス製造装置において、該装置の全制御パラメータのうち所望の制御パラメータのみを表示、編集および保存する編集手段を設けたことを特徴とするデバイス製造装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 507 R
, H01L 21/30 507 U
, H01L 21/30 516
, H01L 21/30 520 C
