特許
J-GLOBAL ID：200903023179127135
ワークピースを支持する装置及び離間用マスクを構成する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117688
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070180
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 ワークピース支持チャックに対して離間してワークピースを支持する絶縁ウェハ離間用マスクを提供する。【解決手段】 ウェハ離間用マスクが、ウェハ離間用マスクとチャックの支持面の間にある絶縁材料に堆積された複数の支持部材を備える。この支持部材は、チャックの支持面に対して離間してウェハ又は別のワークピースを支持する。ウェハの下面とチャックの間の距離は、支持部材の厚さにより定められる。この距離は、チャック面にある汚染粒子の予測される径よりも大きくなるべきである。このようにして、汚染粒子はウェハの下面に付着せず、ウェハを流れる電流漏れは最小にされる。
請求項（抜粋）：
ワークピース支持チャックの支持面に対して離間してワークピースを支持する装置であって、前記ワークピース支持チャックの前記支持面上に形成される絶縁手段と、前記絶縁手段の表面上に堆積され、前記支持面に対して離間して前記ワークピースを支持する離間用マスクとを備える装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
