ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033205
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231537
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】露光後経時によるパターン形状変化、感度変化等がなくなり、それにより感度、解像度、パターンプロファイルが向上したポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)ポリヒドロキシルスチレン類のヒドロキシル基の一部がカーボネート骨格に変換している樹脂、及び(C)ポリヒドロキシルスチレン類のヒドロキシル基の一部が特定の骨格に変換している樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)下記一般式(I)及び(II)で表される繰り返し構造単位を有する樹脂、並びに(C)下記一般式(I)及び(III)で表される繰り返し構造単位を有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(I)〜(III)中、R1〜R7は以下のとおりである。R1は、水素原子又はメチル基を表す。R2及びR3は、同一又は異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基又はアリール基を表す。但し、R2及びR3の少なくともいずれかは水素原子以外の基である。R4は、置換基を有していてもよい、シクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基又はアリール基を表す。R5は、-C(R8)(R9)(R10)、又は-C(R11)(R12)(OR13)で示される基を表す。ここで、R8〜R12は、同一又は異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基又はアリール基を表し、R13は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を表す。但し、R8〜R10のうち少なくとも2つは水素原子以外の基である。R6及びR7は、同一又は異なって、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、置換基を有していてもよい、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アシル基又はアシロキシ基を表す。また、上記R2〜R4、R8〜R10、及びR11〜R13のそれぞれのうちの2つが結合して環を形成してもよい。m及びnは、同一又は異なって、0〜3の整数を示す。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F212/14 , C08L 25/18 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F212/14 , C08L 25/18 , H01L 21/30 502 R

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