特許

J-GLOBAL ID：200903023181189458

ワークの処理方法及び装置

発明者： 関 塚 博 ,  柴 垣 喜 造
出願人/特許権者： 三協エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029921
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224174
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 ワークの洗浄と乾燥とを単一の処理槽を使用して行い得るようにすること。【構成】 洗浄液を供給するための洗浄液供給系10と減圧のための真空排気系11とを備えた処理槽2内にワーク1を収容し、該処理槽内において、洗浄液供給系から洗浄液を供給してワークを洗浄したあと、洗浄液を排出して、真空排気系で処理槽内を減圧することによりワークを真空乾燥する。

請求項（抜粋）：

洗浄液を供給するための洗浄液供給系と減圧のための真空排気系とを備えた処理槽内にワークを収容し、該処理槽内において、洗浄液供給系から洗浄液を供給してワークを洗浄したあと、洗浄液を排出して、真空排気系で処理槽内を減圧することによりワークを真空乾燥することを特徴とするワークの処理方法。

IPC (5件)：

H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 341 ,  B01J 19/10 ,  B08B 3/04 ,  F26B 5/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-213135
  
• 特開昭62-103996