特許
J-GLOBAL ID：200903023184935843
ウエハ板厚測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-017901
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210833
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】ウエハ板厚の変化量をサブミクロンの精度で測定することができるウエハ板厚測定方法及び装置を提供する。【構成】測定すべきウエハ20に所定の周波数の超音波を所定の周期でパルス状に発射し、該ウエハ20による表面反射波と裏面反射波との干渉波を受波して電気信号に変換している。その際、超音波振動子40とウエハ20の間には純水50を満たして音響インピーダンスのマッチングをとることにより、超音波の著しい減衰を防止している。そして、ウエハ20の板厚が超音波の波長λのλ/2変化するごとに、干渉の強度が変動するので、干渉波の電気信号の振幅変動を捉えることにより、該ウエハの板厚変位量を計測することができる。
請求項（抜粋）：
被測定対象ウエハに向けて、所定の発振周波数の超音波を所定の周期でパルス状に発射し、超音波の伝搬の減衰を防止する液体で満たした空間を介して前記超音波を前記ウエハに送波するとともに、前記ウエハによる表面反射波と裏面反射波との干渉波を受波し、前記干渉波を電気信号に変換し、前記ウエハの板厚変化に応じて変動する前記電気信号の振幅に基づいて該ウエハの板厚変位量を計測することを特徴とするウエハ板厚測定方法。
IPC (3件)：
G01B 17/02
, H01L 21/304 321
, H01L 21/66
