特許
J-GLOBAL ID：200903023190111380

サセプタ及びサセプタの製造方法

発明者：
小坂井 守

小坂井 守 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168100
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351966
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルの発生がなく、しかも廉価なサセプタを提供する。【解決手段】 載置板2の試料載置側に多数の突起6が形成され、突起6の頂面を含む試料保持層7(保持領域6a)はイットリウム及びランタノイド元素から選ばれた元素のフッ化物、又はこれらフッ化物の2種以上の複合物を主成分とする。また、突起6下部の中間層9(中間領域6b)はイットリウム及びランタノイド元素から選ばれた元素の酸化物、又はこれら酸化物の2種以上の複合物を主成分とする。さらに、載置板2と支持板3とからなるサセプタ本体8は、アルミナ基焼結体又は窒化アルミニウム基焼結体からなる。
請求項（抜粋）：
試料載置側に多数の突起が形成され、該突起の頂面で板状試料を保持するサセプタであって、該突起の頂面を含む試料保持層がイットリウム及びランタノイド元素から選ばれた元素のフッ化物、又はこれらフッ化物の2種以上の複合物を主成分とすることを特徴とするサセプタ。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/205
FI (3件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/205
Fターム (16件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA09 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031PA26 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15 ,  5F045EK09 ,  5F045EM02 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM