特許
J-GLOBAL ID:200903023190341700

固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梅田 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-347449
公開番号(公開出願番号):特開平6-204441
出願日: 1992年12月28日
公開日(公表日): 1994年07月22日
要約:
【要約】【構成】 上部遮光膜9を形成し、平坦化膜10として、アクリル樹脂(屈折率1.45)を堆積した後、ポリエチレンの水素原子がフッ素原子に置換されたポリマー(屈折率1.35)を用いて、第1透明樹脂層11を形成する。次に、ポリエチレンを用いて、第2透明樹脂層12を形成し、研磨により平坦化する。【効果】 従来の透明樹脂封入構造の固体撮像素子に比べ、乱反射光の多重反射によるゴーストが抑制される。
請求項(抜粋):
パッケージ内に透明樹脂が封入され、平坦化層上に透明樹脂層が形成された固体撮像素子に於いて、前記平坦化層上に、該平坦化層より屈折率の低い透明樹脂層が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
H01L 27/14 ,  H04N 5/335

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