特許

J-GLOBAL ID：200903023191959960

発光分光分析装置及び方法

発明者： 谷本 亘 ,  山本 公
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-054950
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253539
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料表面の元素及び介在物の分布状況を、従来より迅速に分析できるスパーク放電式の発光分光分析装置及び方法を提供することを目的としている。【解決手段】不活性ガス雰囲気中で被分析物と対電極との間で多数回のスパーク放電を行い、該被分析物中の元素を分析する発光分光分析装置であって、前記被分析物の表面を研磨する研磨手段と、研磨された表面に対向し、該表面との間で放電を行う電極と、放電で生じたプラズマから集光する集光レンズと、該集光を分光する分光器と、前記表面と電極の周囲を排気する真空ポンプと、該周囲に不活性ガスを供給するガス導入手段と、これらを一括収納した測定ヘッドとで形成した。

請求項（抜粋）：

不活性ガス雰囲気中で被分析物と対電極との間で多数回のスパーク放電を行い、該被分析物中の元素を分析する発光分光分析装置であって、前記被分析物の表面を研磨する研磨手段と、研磨された表面に対向し、該表面との間で放電を行う電極と、放電で生じたプラズマからの光を集光する集光レンズと、該光を分光する分光器と、前記表面と電極の周囲を排気する真空ポンプと、該周囲に不活性ガスを供給するガス導入手段と、これらを一括収納した測定ヘッドとからなることを特徴とする発光分光分析装置。