特許
J-GLOBAL ID：200903023195886518
レンズ傾き調整方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085637
公開番号（公開出願番号）：特開平6-274898
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 可動支持部材上に載置されたレンズの傾き調整をスムーズに行う。【構成】 レーザ光を対物レンズ150から照射し、このレーザ光の半球レンズ202による反射光によって光学的な干渉縞が発生する。干渉縞の歪みの大きさは、対物レンズ150とカバーガラスAの相対的な傾きによって変化する。次に対物レンズ150の上面に傾き調整爪401を接触させる。支持部材151のソレノイドコイル163に通電することにより、支持部材151を上昇させ、対物レンズ150を傾き調整爪401に押し当てる。傾き調整爪401を対物レンズ150より離し、干渉縞の歪みを観測する。さらに対物レンズ150を傾斜させる場合、傾き調整爪401を傾ける。そして傾き調整爪401を対物レンズ150の上面に接触させ、再び支持部材151を上昇させて対物レンズ150を傾き調整爪401に押し当てる。以下同様な処理を繰り返す。
請求項（抜粋）：
固定部材に弾性的に連結された可動支持部材の傾斜支持面に載置されたレンズを、前記支持面上において変位させることにより所定量だけ傾けるレンズ傾き調整方法であって、傾き調整部材をレンズに接触させる第1の工程と、前記傾き調整部材がレンズに接触した状態で、前記可動支持部材を傾き調整部材側に付勢することによりレンズを傾き調整部材に押し当てる第2の工程とを備えたことを特徴とするレンズ傾き調整方法。
IPC (3件)：
G11B 7/08
, G02B 7/02
, G11B 7/095
