特許
J-GLOBAL ID:200903023196338956
ペースト塗布装置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伴 俊光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-332167
公開番号(公開出願番号):特開2002-126599
出願日: 2000年10月31日
公開日(公表日): 2002年05月08日
要約:
【要約】【課題】 基板の溝の延設方向に対してペーストを均一に塗布できるペーストの塗布装置および方法。【解決手段】 ノズルヘッドのノズル孔が穿設される吐出板と対向するように基板をテーブル上に載置し、前記ノズルヘッドのペースト貯留部に貯留されたペーストを前記ノズル孔から吐出し、ノズルヘッドと基板との相対位置関係を変化させて、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペースト塗布装置において、前記吐出板の少なくともノズル孔周辺部を、基板にペーストを塗布する前に拭き取る拭き取り手段を設けたことを特徴とするペースト塗布装置および方法。
請求項(抜粋):
ノズルヘッドのノズル孔が穿設される吐出板と対向するように基板をテーブル上に載置し、前記ノズルヘッドのペースト貯留部に貯留されたペーストを前記ノズル孔から吐出し、ノズルヘッドと基板との相対位置関係を変化させて、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペースト塗布装置において、前記吐出板の少なくともノズル孔周辺部を、基板にペーストを塗布する前に拭き取る拭き取り手段を設けたことを特徴とするペースト塗布装置。
IPC (5件):
B05C 5/02
, B05C 11/10
, B05D 3/12
, B05D 7/00
, H01J 9/227
FI (5件):
B05C 5/02
, B05C 11/10
, B05D 3/12 Z
, B05D 7/00 H
, H01J 9/227 E
Fターム (20件):
4D075AC04
, 4D075AC84
, 4D075BB20Z
, 4D075BB65Z
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC22
, 4D075EA05
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA13
, 4F041BA60
, 4F042AA06
, 4F042BA08
, 4F042CB03
, 4F042CC08
, 4F042CC11
, 5C028FF16
引用特許:
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