特許

J-GLOBAL ID：200903023203419428

オルトナフトキノンジアジドスルフォン酸エステルを含む感光性混合物、およびそれでつくった記録材料

発明者： ジークフリート、シェラー ,  アンドレアス、エルザエッサー ,  ゲルハルト、ブール ,  クラウス、ベルクマン ,  ウォルフガンク、ツァーン
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-300899
公開番号（公開出願番号）：特開平5-265205
出願日： 1992年11月11日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 光感度、水性の弱アルカリ溶液での現像性、および未露光層の構成物質のアルコール耐性に関して、既知の混合物よりも優れた感光性混合物、およびそれを使用した感光材料の提供。【構成】 水に不溶である、水性アルカリ溶液に可溶か、少なくとも膨潤可能な高分子バインダーと、下記一般式[1]で示される1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-スルフォン酸エステルであるところの、オルト-ナフトキノンジアジドスルフォン酸エステルとを含むことを特徴とする感光性混合物、およびそれを使用した感光材料。(Rは水素またはアルキル基またはアリール基であり、R1は水素、または1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルフォニル基等、R1で定義される同一または異なったナフトキノンジアジド-スルフォニル基の一分子中の数は1から5である。)

請求項（抜粋）：

水に不溶であるが、水性アルカリ溶液に可溶か、少なくとも膨潤可能な高分子バインダーと、下記一般式[1]で示される1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-スルフォン酸エステルであるところのオルト-ナフトキノンジアジドスルフォン酸エステルとを含む感光性混合物。【化1】(ここで、Rは、水素またはアルキル基またはアリール基であり、R1は、水素、または1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルフォニル基、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルフォニル基、または7-メトキシ-1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルフォニル基であり、R1で定義される同一または異なったナフトキノンジアジド-スルフォニル基の分子中の数は1から5である。)

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-114138
  
• 特開平1-189644
  
• 特開平1-309052