特許

J-GLOBAL ID：200903023206270530

半導体装置製造設備の漏水感知装置及び漏水感知センサー

発明者： スン-ジュン リー ,  ミン-ギュ キム ,  ドー-ワン チョイ
出願人/特許権者： サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173939
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 半導体装置製造設備の流体供給ライン及び流体が提供される部位等から発生する漏水を感知するための装置を設け、漏水発生を迅速に把握して警報を発することによって漏水による事故を防止し、漏水感知を効率よく行うセンサーを備えた半導体装置製造設備の漏水感知装置及び感知センサーを提供する。【解決手段】 漏水感知装置は、流体の漏水を感知するセンシング手段と、前記センシング手段のセンシングによる信号の電圧レベルと設定された所定基準電圧とを比較する比較部と、前記比較部から出力される信号のレベルによってスイッチングされるスイッチング部及び前記スイッチング部のスイッチング信号に応じて警報動作が行われる警報部を備えて成る。漏水感知センサーは、電源が与えられる複数個の導電体を取り囲む吸収材により、漏水した流体を吸収し前記複数個の導電体が通電されることで流体の漏水を感知する。

請求項（抜粋）：

流体の漏水を感知するセンシング手段と、前記センシング手段のセンシングによる信号の電圧レベルと設定された所定基準電圧とを比較する比較部と、前記比較手段から出力される信号のレベルに応じてスイッチングされるスイッチング部と、前記スイッチング部のスイッチング信号に応じて警報動作を行う警報部とを備えることを特徴とする半導体装置製造設備の漏水感知装置。