真空処理装置及び真空処理装置の駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308383
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】圧力計の損傷を防止できかつ稼働率の向上を図ることができる真空処理装置を提供する。【解決手段】真空処理室11と、真空処理室11内の圧力を測定する圧力計12とを有する真空処理装置1において、真空処理室11には開閉弁17を介して比較圧力計13が設けられている。開閉弁17と比較圧力計13との間にはリーク手段19が設けられている。開閉弁17と比較圧力計13との間には不活性ガス導入管20が接続されている。圧力計12と比較圧力計13とには、圧力計12で測定された圧力と比較圧力計13で測定された圧力との差圧が設定値を越えた場合に警報を発する警報ランプ14d,警報ブザー14e等の警報部が接続されている。

請求項（抜粋）：

真空処理室と、当該真空処理室内の圧力を測定する圧力計とを有する真空処理装置において、前記真空処理室には、開閉弁を介して比較圧力計が設けられ、前記開閉弁と前記比較圧力計との間にはリーク手段が設けられたこと、を特徴とする真空処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , B01J 3/02 , H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/302 B , B01J 3/02 L , H01L 21/205

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